Präzise Wellenfront- und Oberflächenmessung mit AccuFiz®
Die AccuFiz® Fizeau-Interferometer von 4D Technology sind hochpräzise Messsysteme zur interferometrischen Prüfung optischer Oberflächen, Wellenfronten und kompletter optischer Systeme. Die Produktfamilie deckt einen außergewöhnlich großen Spektralbereich vom sichtbaren Licht bis in den langwelligen Infrarotbereich ab und lässt sich dadurch an unterschiedlichste Aufgaben in Optikfertigung, Forschung und Qualitätssicherung anpassen.
Je nach Konfiguration stehen Systeme mit unterschiedlichen Laserquellen, Aperturen, Kameras und Messmodi zur Verfügung. Damit können sowohl klassische Fizeau-Messungen mit zeitlicher Phasenschiebung als auch dynamische Messungen unter anspruchsvollen Umgebungsbedingungen realisiert werden.
Messung von Planflächen, Sphären und optischen Systemen
Das Fizeau-Prinzip ermöglicht hochgenaue berührungslose Messungen optischer Komponenten. Zusammen mit geeigneten Referenzoptiken können unter anderem Planflächen, sphärische Flächen, Prismen sowie transmittierende optische Komponenten und komplette Systeme charakterisiert werden.
Die AccuFiz-Systeme eignen sich dadurch sowohl für einzelne Messplätze in Entwicklung und Forschung als auch für wiederkehrende Prüfaufgaben innerhalb der industriellen Optikfertigung.
Vom sichtbaren Spektralbereich bis LWIR
Eine besondere Stärke der AccuFiz-Familie ist die große Auswahl an verfügbaren Messwellenlängen. Abhängig von der Messaufgabe stehen Systeme bei 532 nm, 633 nm, 1053 nm, 1550 nm sowie im MWIR- und LWIR-Bereich zur Verfügung. Dadurch können auch optische Komponenten bei oder nahe ihrer späteren Einsatzwellenlänge geprüft werden.
Für spezielle IR-Anwendungen stehen beispielsweise Konfigurationen bis 10,6 µm zur Verfügung. Das AccuFiz LWIR ist als vollständiges Fizeau-Interferometersystem für Messungen bei dieser Wellenlänge ausgelegt.
Dynamic Interferometry und Short Coherence
Für Messumgebungen mit Vibrationen sowie für besondere optische Komponenten bietet 4D Technology spezielle AccuFiz-Konfigurationen an. Dynamische Systeme erfassen die für die Phasenbestimmung benötigten Informationen extrem schnell und reduzieren dadurch den Einfluss von Bewegung und Vibration auf das Messergebnis.
Das AccuFiz D kombiniert beispielsweise Dynamic Interferometry mit einer kurz-kohärenten Lichtquelle. Dadurch können eng benachbarte parallele Glasoberflächen separat untersucht werden. Eine vollständige Wellenfrontmessung kann dabei laut 4D Technology in nur 150 µs erfolgen.
Das ist wesentlich präziser als euer derzeitiger Satz „Dynamic-Interferometer für den Einsatz unter vibrierenden Bedingungen“.
Analyse mit 4Sight™ Focus
Die Messdatenerfassung und Auswertung erfolgt mit der 4Sight™ Focus Wavefront Analysis Software. Sie unterstützt Einzel-, Mittelwert-, Burst- und kontinuierliche Messungen und stellt zahlreiche Werkzeuge zur Analyse und Darstellung der gemessenen Oberflächen und Wellenfronten bereit.
Hierzu gehören unter anderem 2D- und 3D-Darstellungen sowie Zernike-, Seidel-, geometrische und weitere Analysen. Damit lassen sich sowohl schnelle Qualitätsprüfungen als auch detaillierte Untersuchungen optischer Komponenten durchführen.
Typische Anwendungen
- Prüfung von Planflächen und sphärischen Optiken
- Messung von Oberflächenform und Wellenfront
- Transmissionsmessung optischer Komponenten und Systeme
- Prüfung von IR- und SWIR-Optiken
- Optikfertigung und Qualitätskontrolle
- Messung dünner und planparalleler Optiken
- Radius- und Formmessungen
- Forschung und Entwicklung
- Messungen in Vakuum- und Klimakammern
- Anwendungen mit erhöhten Vibrationen oder langen Messkavitäten
Vorteile der AccuFiz®-Familie
- Fizeau-Interferometrie für hochpräzise Optikmessungen
- Breiter Wellenlängenbereich von sichtbar bis LWIR
- Unterschiedliche Aperturen und Systemkonfigurationen
- Erweiterung auf große Messdurchmesser möglich
- Klassische und dynamische Messverfahren verfügbar
- Short-Coherence-Systeme für dünne und parallele Optiken
- Umfangreiche Wellenfrontanalyse mit 4Sight™ Focus
- Systeme für Labor, Fertigung und Forschung
- Anpassung an spezielle Messaufgaben und Spektralbereiche
Hersteller
4D Technology entwickelt hochpräzise interferometrische Messsysteme für die Charakterisierung optischer Oberflächen und Wellenfronten. Neben den AccuFiz® Fizeau-Interferometern umfasst das Portfolio unter anderem dynamische Interferometer der PhaseCam-Serie sowie Systeme zur berührungslosen 3D-Oberflächenmessung.








