Schichtdickenmessgerät für transparente Schichten

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  • Messbereich: 1nm – 3mm
  • Wellenlängen: 190 – 2500 nm
  • Schnelle, zerstörungsfreie Messung von Schichtdicken verschiedenster Materialien
  • Optional:
    • Mikroskop-System
    • Aufsetzprobe
    • Scanner-System
    • Biokit (für Immunreaktionen)
  • Benutzerfreundliche Software mit “Single-Click”-Analsyse

Ansprechpartner: Hr. Michael Zerbin

ThetaMetrisis bietet eine Reihe hochpräziser Systeme zur Messung und Charakterisierung von Schichtdicken, die auf der Weißlicht-Reflexionsspektroskopie (WLRS) basieren. Mit diesen Schichtdickenmessgeräten für transparente Schichten messen Sie selbst kleinste Schichten verschiedenster Materialien. Durch die Verwendung einer Breitbandlichtquelle, eines Spektrometers (VIS-NIR möglich) und die Koppelung mittels Lichtfasern erfassen Sie auch komplexe Schichtstapel und charakterisieren deren unterschiedliche Schichten.

Unsere Systeme arbeiten, indem Lichtstrahlen nach deren Reflexion an übereinanderliegenden Schichtoberflächen interferieren. Diese Interferenz ermöglicht Ihnen die genaue Berechnung der Schichtdicke sowie weiterer relevanter Parameter. Wir bieten Ihnen eine breite Auswahl an Systemen, die von einfachen Standsystemen für Messungen an geraden Oberflächen bis hin zu Spezialanwendungen reichen. Sie können sogar komplexere Strukturen wie gekrümmte Linsen messen. Dabei setzen wir eine an eine Faser gekoppelte Aufsetzeinheit ein.

Für besondere Anwendungen können Sie Ihr Schichtdickenmessgerät für transparente Schichten auch an ein Mikroskop koppeln, um stark gekrümmte Oberflächen präzise zu messen oder Störfaktoren wie Rauheiten zu minimieren.

Unsere Systeme finden breite Anwendung in der Dickenbestimmung von Siliziumschichten auf Wafern. Zum Beispiel in der Beschichtungsmessung auf Elektronikteilen sowie an Linsen und KFZ-Scheinwerfern. Sie profitieren von einer schnellen, zerstörungsfreien und genauen Charakterisierung von dünnen Schichten und Beschichtungen auf einer Vielzahl von Materialien. Mit ihrer Vielseitigkeit und Benutzerfreundlichkeit sind die Schichtdickenmessgeräte für transparente Schichten von ThetaMetrisis ideal für den Einsatz in Forschung und Entwicklung, Qualitätskontrolle und Produktion.

Anwendung

  • Polymere
  • Photoresist
  • SI Wafer
  • Dünne Metalle
  • Linsen  
  • Biosensoren
  • Antifog Beschichtungen  
  • Hardcoat Automobilbereich
  • Solar Zellen
  • In Situ Messungen
  • Überwachung vonImmunreaktionen
  • Und viele weitere… 

Details

FR-Scanner FR-pOrtable FR-pRo
Dickenbereich 3 nm bis 80 µm 12 nm bis 90 µm 1 nm bis 80 µm
Spotgröße 1 nm oder 0.2% 1 nm oder 0.2% 1 nm oder 0.2 %
Probengröße Wafer mit 2 Zoll bis 300 mm Durchmesser und beliebiger Form ass=”yoast-text-mark”>dth=”148″>1 mm bis 180 mm und größer dth=”147″>Variabel, je nach Konfiguration und Zubehör
Lichtquelle Deuterium und Halogen Hybride LEDs und Glühlampe mit 20.000 Stunden Lebensdauer Deuterium und Halogen

Optionen

  • Küvettensatz
  • Transmissionssatz
  • Linsenmodul  
  • Kontaktsonde  
  • Mikroskop  
  • Scanner  
  • Integrationssphäre für spiegelnden und diffusen Reflexionen
  • Manueller X-Y-Tisch
  • Heizsysteme 

Datenblätter

FR-Scanner

FR-pOrtable

FR-pRo

API – Software Development Kit

Biosensing kit

ContactProbe-ST

FR-ES

FR-uProbe

ThetaMetrisis Catalog – FR-pRo

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