AccuSizer Mini-Systeme für die Überwachung von CMP-Schlämmen
Das AccuSizer Mini System wurde mit einem modularen Design entwickelt, das es ermöglicht, Sensoren und Fluidikoptionen an die Schlämme und Prozessausrüstung des Kunden anzupassen. Die Systeme liefern schnell und mit höheren Zählraten als jede andere Technologie Ergebnisse mit höchster Genauigkeit und Auflösung. Dies verbessert die Statistik und gewährleistet die Erkennung von großen Partikelzahlen (LPC), die den Yield verringern.
Eine Vielzahl von kundenspezifischen “Autodilution” Modulen stellt sicher, dass die perfekte Konzentration für die Messung an den Sensor geliefert wird.
Mit der SPOS-Technik (Single Particle Optical Sizing) liefern die Systeme Ergebnisse von höchster Genauigkeit.
Sie sind bestens geeignet zur kontinuierlichen Überwachung von LPC in CMP-Slurry-Zufuhrsystemen und als Werkzeug zur Optimierung der Filtration und anderer Prozessbedingungen.
AccuSizer Mini FX-System
Bereich: 0,65 – 20 µm, bis zu 106 Partikel/ml
Einstufige Verdünnungsfluidik
Ideal für CMP-Slurries aus Ceroxid
AccuSizer Mini LE System
Bereich: 0,5 – 400 µm, bis zu 10.000 Partikel/mL
Ein- oder zweistufige Verdünnungsfluidik
Ideal für Siliziumdioxid-CMP-Slurries
AccuSizer Mini FX-Nano System
Bereich: 0,15 – 10 µm, bis zu 106 Partikel/mL
Exponentielle Verdünnungsfluidik
Ideal für saubere, kolloidale CMP-Slurries
Falls Sie weitere Fragen zu den Systemen haben, stellen Sie gerne eine unverbindliche Anfrage. Weitere Informationen über die Produkte und alle technischen Datenblätter zu jeder Variante erhalten Sie hier: Entegris.com.
