NanoCam HD – Hochpräzise 3D-Oberflächenmessung
Das NanoCam HD von 4D Technology ist ein berührungsloses optisches Oberflächenprofilometer zur hochpräzisen Messung von Oberflächenform, Textur und Rauheit. Das System kombiniert eine große Messfläche mit hoher vertikaler Auflösung und eignet sich damit besonders für Anwendungen, bei denen größere optische oder technische Oberflächen schnell und reproduzierbar charakterisiert werden müssen.
Im Gegensatz zu taktilen Messverfahren erfolgt die Erfassung vollständig berührungslos. Empfindliche, beschichtete oder hochpräzise Oberflächen können dadurch untersucht werden, ohne das Bauteil mechanisch zu beeinflussen.
Dynamic Interferometry® für vibrationsunempfindliche Messungen
Herzstück des NanoCam HD ist die patentierte Dynamic Interferometry® Technologie von 4D Technology. Die für eine vollständige Oberflächenmessung benötigten Phaseninformationen werden gleichzeitig erfasst, anstatt mehrere zeitlich aufeinanderfolgende Aufnahmen zu benötigen.
Eine Messung kann dadurch in weniger als 100 Mikrosekunden erfolgen. Vibrationen, Luftbewegungen und andere Umgebungseinflüsse haben wesentlich weniger Zeit, das Messergebnis zu beeinflussen.
Das NanoCam HD kann deshalb auch außerhalb eines klassischen schwingungsisolierten Messlabors eingesetzt werden – beispielsweise direkt in Fertigungsumgebungen oder in automatisierten Prüfstationen.
Oberflächenrauheit bis in den Ångström-Bereich
Mit einer vertikalen Auflösung bis 1 Å ermöglicht das NanoCam HD die quantitative Analyse sehr kleiner Oberflächenstrukturen. Neben der klassischen Rauheitsmessung können dreidimensionale Oberflächentopografien erfasst und unterschiedliche Bereiche einer Oberfläche miteinander verglichen werden.
Die Auswertung unterstützt Oberflächenparameter gemäß ISO 25178 und ermöglicht damit eine standardisierte quantitative Charakterisierung der gemessenen Oberflächen.
Großflächige Messung ohne mechanisches Scannen
Eine besondere Stärke des NanoCam HD ist die Kombination aus hoher vertikaler Auflösung und einem vergleichsweise großen Messfeld. Dadurch lassen sich größere Bereiche einer Oberfläche in einer einzelnen Messung erfassen.
Das reduziert den Aufwand gegenüber Verfahren, bei denen eine Oberfläche punkt- oder linienweise abgescannt werden muss, und macht das System insbesondere für schnelle Prüf- und Qualitätskontrollaufgaben interessant.
Typische Anwendungen
- Rauheitsmessung optischer Oberflächen
- 3D-Oberflächentopografie
- Qualitätskontrolle von Linsen und Spiegeln
- Charakterisierung polierter und beschichteter Oberflächen
- Prüfung großer und segmentierter Teleskopoptiken
- Halbleiter- und Waferinspektion
- Präzisionsoptik und optische Fertigung
- Materialwissenschaft und Oberflächenforschung
- Fertigungsnahe Prozesskontrolle
- Automatisierte Serienprüfung
Vorteile des NanoCam HD
- Berührungslose optische Messung
- Vertikale Auflösung bis 1 Å
- Messzeit unter 100 µs
- Hohe Unempfindlichkeit gegenüber Vibrationen
- Großflächige 3D-Oberflächenmessung
- Quantitative Rauheitsanalyse
- Auswertung gemäß ISO 25178
- Geeignet für Labor und Fertigungsumgebung
- Integration in automatisierte Messabläufe möglich
- Messung empfindlicher Oberflächen ohne mechanischen Kontakt
Auswertung mit 4Sight™ Focus
Die Messdaten werden mit der 4Sight™ Focus Software von 4D Technology erfasst und ausgewertet. Neben der dreidimensionalen Darstellung der Oberflächentopografie stehen umfangreiche Analysefunktionen für Rauheit, Form und Oberflächenstruktur zur Verfügung.
Damit können Messdaten sowohl für detaillierte Entwicklungsanalysen als auch für reproduzierbare Qualitätskontrollen und automatisierte Prüfabläufe genutzt werden.
Hersteller
4D Technology entwickelt interferometrische Messsysteme für die hochpräzise Charakterisierung von Oberflächen und Wellenfronten. Die patentierte Dynamic Interferometry® Technologie ermöglicht schnelle Messungen auch unter Umgebungsbedingungen, bei denen klassische phasenschiebende Interferometer durch Vibrationen oder Luftbewegungen beeinträchtigt werden.
