Filmdicken Messsysteme

  • Halbleiterproduktion
  • Resist-Strukturen
  • Hartbeschichtungen z.B. im Automobilbau
  • Flüssigkristalldisplays
  • und alle Arten von optischen Beschichtungen

Ansprechpartner: Michael Zerbin

Die Filmdickenmessgeräte von Semiconsoft eignen sich hervorragend um dünne transparente Schichten im Dickenbereichen von 1nm bis 2 mm zu messen. Das Prinzip basiert auf den Gesetzmäßigkeiten der Reflektometrie.

Mit diesen Spektrometern bietet sich auch die die Möglichkeit mehrere übereinaderliegende Schichten zu betrachten und deren Dicke zu bestimmen. Bei den Systemen von Semiconsoft erwerben Sie vor allem flexible und anpassbare Messgeräte. Diese sind bei Änderungen im Produktionsprozess beliebig erweiterbar. Verglichen mit gängigen Ellipsometern tritt vor allem der Kostenaspekt in den Vordergrund.

Sowohl im Labor als Einzelmesssystem oder auch Inline für automatisierte Messungen, eignen sich die verschiedenen Aufbauten ausgezeichnet. Zudem können auch größere Flächen durch die ausgeklügelte Mapping Funktion betrachtet werden.

Anwendungen

  • Halbleiterprodukten
  •  Resist-Strukturen
  • Hartbeschichtungen im Automobilbau
  •  Flüssigkristalldisplays
  • PCBA-Coatings
  • Photoresist- und Parylenemessungen
  • alle Arten von optischen Beschichtungen

Details

  • Dickenbereich: 1nm -2mm
  • Genauigkeit: 1nm
  • Spot-Größe: 2µm bis 200µm
  • Probengröße: bis 200mm
  • Datenbank: mehr als 500 verschiedene vorgespeicherte Materialien

Optionen

  • Stand-Alone- InSitu-, Inline Messsysteme
  • Adapter händische Messungen
  • Systemaufbauten mit und ohne Mikroskop
  • Objektive und Lichtquellen anpassbar
  • Mapping-Funktion
  • Digitalkamera für Bildschirmdarstellung
  • manuelle oder elektrische verfahrbare Tische
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