Filmdicken Messsysteme von ThetaMetrisis

  • Basierend auf WLRS-Technologie
  • Schnelle, zerstörungsfreie und genaue Messungen
  • Benutzerfreundliche Software mit “Single-Click”-Analyse
  • Vielseitige Anwendungsmöglichkeiten
  • Offline-Analyse möglich

Ansprechpartner: Hr. Michael Zerbin

ThetaMetrisis bietet eine Reihe hochpräziser Filmdicken Messsysteme, die auf der White-Light-Reflectance-Spectroscopy (WLRS) Technologie basieren. Diese Systeme ermöglichen eine schnelle, zerstörungsfreie und genaue Charakterisierung von dünnen Schichten und Beschichtungen auf einer Vielzahl von Materialien. Mit ihrer Vielseitigkeit und Benutzerfreundlichkeit sind die ThetaMetrisis-Systeme ideal für Anwendungen in Forschung und Entwicklung, Qualitätskontrolle und Produktion.

Es gibt drei Ausführungen der Filmdicken Messsysteme:

FR-Scanner: Automatisierter Scanner zur schnellen und genauen Charakterisierung von Filmen und Beschichtungen auf Wafern bis zu 300 mm Durchmesser, ideal für Halbleiter- und Photovoltaikindustrie.

FR-pOrtable: Handliches, USB-betriebenes Gerät zur Charakterisierung von transparenten und halbtransparenten Schichten, ideal für den Einsatz vor Ort in verschiedenen Branchen.

FR-pRo: Modulares System zur Schichtcharakterisierung, das für spezifische Bedürfnisse anpassbar ist und vielfältige Anwendungen in Forschung und Industrie bietet.

Anwendung

  • Alle Systeme basieren auf der White-Light-Reflectance-Spectroscopy (WLRS) Technologie
  • Ermöglichen schnelle, zerstörungsfreie und genaue Messungen
  • Benutzerfreundliche Software mit “Single-Click”-Analyse
  • Geeignet für eine Vielzahl von Materialien und Anwendungen

Details

FR-Scanner FR-pOrtable FR-pRo
Dickenbereich 3 nm bis 80 µm 12 nm bis 90 µm 1 nm bis 80 µm
Spotgröße 1 nm oder 0.2% 1 nm oder 0.2% 1 nm oder 0.2 %
Probengröße Wafer mit 2 Zoll bis 300 mm Durchmesser und beliebiger Form 1 mm bis 180 mm und größer Variabel, je nach Konfiguration und Zubehör
Lichtquelle Deuterium und Halogen Hybride LEDs und Glühlampe mit 20.000 Stunden Lebensdauer Deuterium und Halogen

Datenblätter

FR-Scanner

FR-pOrtable

FR-pRo

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