ThetaMetrisis bietet eine Reihe hochpräziser Schichtdicken Messsysteme, die auf der White-Light-Reflectance-Spectroscopy (WLRS) Technologie basieren. Diese Systeme ermöglichen eine schnelle, zerstörungsfreie und genaue Charakterisierung von dünnen Schichten und Beschichtungen auf einer Vielzahl von Materialien. Mit ihrer Vielseitigkeit und Benutzerfreundlichkeit sind die ThetaMetrisis-Systeme ideal für Anwendungen in Forschung und Entwicklung, Qualitätskontrolle und Produktion.
Es gibt drei Ausführungen der Schichtdickenmessgeräte :
FR-Scanner: Automatisierter Scanner zur schnellen und genauen Charakterisierung von Filmen und Beschichtungen auf Wafern bis zu 300 mm Durchmesser, ideal für Halbleiter- und Photovoltaikindustrie.
FR-pOrtable: Handliches, USB-betriebenes Gerät zur Charakterisierung von transparenten und halbtransparenten Schichten, ideal für den Einsatz vor Ort in verschiedenen Branchen.
FR-pRo: Modulares System zur Schichtcharakterisierung, das für spezifische Bedürfnisse anpassbar ist und vielfältige Anwendungen in Forschung und Industrie bietet.
