AccuSizer Mini-Systeme für die Überwachung von CMP-Schlämmen
Das AccuSizer Mini System (zur Prozessüberwachung/ Partikelmessgerät) wurde mit einem modularen Design entwickelt, das es ermöglicht, Sensoren und Fluidikoptionen an die Schlämme und Prozessausrüstung des Kunden anzupassen. Die Systeme liefern schnell und mit höheren Zählraten als jede andere Technologie Ergebnisse mit höchster Genauigkeit und Auflösung. Dies verbessert die Statistik und gewährleistet die Erkennung von großen Partikelzahlen (LPC), die den Yield verringern.
Eine Vielzahl von kundenspezifischen “Autodilution” Modulen stellt sicher, dass die perfekte Konzentration für die Messung an den Sensor geliefert wird.
Mit der SPOS-Technik (Single Particle Optical Sizing) liefern die Systeme Ergebnisse von höchster Genauigkeit.
Sie sind bestens geeignet zur kontinuierlichen Überwachung von LPC in CMP-Slurry-Zufuhrsystemen und als Werkzeug zur Optimierung der Filtration und anderer Prozessbedingungen.
AccuSizer Mini FX-System
Bereich: 0,65 – 20 µm, bis zu 106 Partikel/ml
Einstufige Verdünnungsfluidik
Ideal für CMP-Slurries aus Ceroxid
AccuSizer Mini LE System
Bereich: 0,5 – 400 µm, bis zu 10.000 Partikel/mL
Ein- oder zweistufige Verdünnungsfluidik
Ideal für Siliziumdioxid-CMP-Slurries
AccuSizer Mini FX-Nano System
Bereich: 0,15 – 10 µm, bis zu 106 Partikel/mL
Exponentielle Verdünnungsfluidik
Ideal für saubere, kolloidale CMP-Slurries
Technische Merkmale
Die AccuSizer Mini Systeme zeichnen sich durch ihre hohe Flexibilität und Anpassungsfähigkeit aus. Das modulare Design erlaubt die individuelle Konfiguration von Sensoren und Fluidikoptionen entsprechend den spezifischen Anforderungen des Kunden. Die Systeme liefern schnelle und hochauflösende Ergebnisse mit Zählraten, die über denen anderer Technologien liegen. Dies verbessert die statistische Genauigkeit und ermöglicht die zuverlässige Erkennung von großen Partikelzahlen (LPC), die die Ausbeute verringern können.
Eine Vielzahl von kundenspezifischen Autoverdünnungsmodulen stellt sicher, dass die optimale Konzentration für die Messung an den Sensor geliefert wird. Die SPOS-Technik ermöglicht die präzise Messung einzelner Partikel, was zu Ergebnissen von höchster Genauigkeit führt. Die Systeme sind bestens geeignet zur kontinuierlichen Überwachung von LPC in CMP-Schlamm-Zufuhrsystemen und dienen als Werkzeug zur Optimierung der Filtration und anderer Prozessbedingungen.
Anwendungsbereiche der Prozessüberwachung
Die Prozessüberwachung mit dem Partikelmessgerät AccuSizer Mini findet Anwendung in verschiedenen Bereichen der Halbleiterfertigung und Materialwissenschaft. In der Überwachung von CMP-Schlämmen ermöglichen sie die frühzeitige Erkennung von Verunreinigungen und Aggregationen, die zu Defekten führen können. Dies ist entscheidend für die Qualitätssicherung und die Optimierung von Fertigungsprozessen. Darüber hinaus werden die Systeme in der Forschung und Entwicklung eingesetzt, um die Eigenschaften neuer Materialien zu analysieren und Prozesse zu verbessern.
Falls Sie weitere Fragen zu den Systemen haben, stellen Sie gerne eine unverbindliche Anfrage. Weitere Informationen über die Produkte und alle technischen Datenblätter zu jeder Variante erhalten Sie hier: Entegris.com.
