Entegris bietet eine große Bandbreite an Sensoren für ihre Partikelmessgeräte an. Wir stehen bei der Auswahl des passenden Sensors gerne beratend zur Seite und freuen uns über Ihren Anruf.
LE400-05
- 0,5 bis 400µm
- Lichtabschattung und -streuung
- Summierung-Kalibrierung
- Partikelempfindlichkeit bis 10 PPT
- Konzentrationsgrenze 9000 Partikel / mL
- Genauigkeit bei Größe: 2%
- Zählgenauigkeit: 10%
- empfohlene Durchflussrate: 60 ml / min, kann aber kalibriert werden für andere Flussraten je nach Konfiguration
LE1000-2
- 2 bis 1000µm
- Lichtabschattung und Summierung
- Partikelkonzentration 4000 / mL
- Flussrate von 100 ml / min
LE2500-20
- 25 bis 2500µm
- Lichtabschattung und Summierung
- Partikelkonzentration 2000 / mL
- Durchflussrate 600 ml / min
FX-Sensor
- 0,70 bis 20µm
- Lichtabschattung mit patentierter Strahl-Fokusier Technologie
- Lichtabschattungs-Kalibrierung
- Konzentrationsgrenzen 400 mal größer als bei herkömmlicher SPOS Sensortechnik
FX Nano
- 0,15 bis 20µm
- Lichtabschattung mit patentierter Strahl-Fokusier Technologie
- Lichtabschattungs-Kalibrierung
- Konzentrationsgrenzen 200 mal größer als bei herkömmlicher Sensortechnik
FX / FX Nano
gekoppelt mit dem LE400 liefert dieser Sensor eine hohe Dynamik und eignet sich besonders für die Betrachtung von Ausreisserpartikel im Bereich von 0,15 bis 150µm. Diese Konfiguration erfordert ein spezielles Mess- und Datenerfassungssystem.
HFX
Der “Hydro Focused Extinction” Sensor ist in der Lage extrem hohe Partikelkonzentrationen von mehr als 10 Millionen Partikel pro mL zu messen. Das patentierte Mantelstrom-Fluidikdesign sorgt dafür, dass der Partikelstrom nicht in Kontakt mit der Durchflusszelle zu kommen und in seiner ursprünglichen nativen Konzentration gemessen werden kann.
