{"id":9530,"date":"2025-03-31T11:44:29","date_gmt":"2025-03-31T09:44:29","guid":{"rendered":"https:\/\/soliton-gmbh.de\/?post_type=product&p=9530"},"modified":"2025-05-15T12:19:14","modified_gmt":"2025-05-15T10:19:14","slug":"process-monitoring","status":"publish","type":"product","link":"https:\/\/soliton-gmbh.de\/en\/produkt\/prozessueberwachung\/","title":{"rendered":"Process monitoring\/particle measuring device"},"content":{"rendered":"

AccuSizer Mini-Systeme f\u00fcr die \u00dcberwachung von CMP-Schl\u00e4mmen<\/h3>\n

Das AccuSizer Mini System (zur Prozess\u00fcberwachung\/ Partikelmessger\u00e4t) wurde mit einem modularen Design entwickelt, das es erm\u00f6glicht, Sensoren und Fluidikoptionen an die Schl\u00e4mme und Prozessausr\u00fcstung des Kunden anzupassen. Die Systeme liefern schnell und mit h\u00f6heren Z\u00e4hlraten als jede andere Technologie Ergebnisse mit h\u00f6chster Genauigkeit und Aufl\u00f6sung. Dies verbessert die Statistik und gew\u00e4hrleistet die Erkennung von gro\u00dfen Partikelzahlen (LPC), die den Yield verringern.<\/p>\n

Eine Vielzahl von kundenspezifischen “Autodilution” Modulen stellt sicher, dass die perfekte Konzentration f\u00fcr die Messung an den Sensor geliefert wird.
\nMit der SPOS-Technik (Single Particle Optical Sizing) liefern die Systeme Ergebnisse von h\u00f6chster Genauigkeit.
\nSie sind bestens geeignet zur kontinuierlichen \u00dcberwachung von LPC in\u00a0 CMP-Slurry-Zufuhrsystemen und als Werkzeug zur Optimierung der Filtration und anderer Prozessbedingungen.<\/p>\n

AccuSizer Mini FX-System<\/h3>\n

Bereich: 0,65 – 20 \u00b5m, bis zu 106 Partikel\/ml
\nEinstufige Verd\u00fcnnungsfluidik
\nIdeal f\u00fcr CMP-Slurries aus Ceroxid<\/p>\n

AccuSizer Mini LE System<\/h3>\n

Bereich: 0,5 – 400 \u00b5m, bis zu 10.000 Partikel\/mL
\nEin- oder zweistufige Verd\u00fcnnungsfluidik
\nIdeal f\u00fcr Siliziumdioxid-CMP-Slurries<\/p>\n

AccuSizer Mini FX-Nano System<\/h3>\n

Bereich: 0,15 – 10 \u00b5m, bis zu 106 Partikel\/mL
\nExponentielle Verd\u00fcnnungsfluidik
\nIdeal f\u00fcr saubere, kolloidale CMP-Slurries<\/p>\n

Technische Merkmale<\/h2>\n

Die AccuSizer Mini Systeme zeichnen sich durch ihre hohe Flexibilit\u00e4t und Anpassungsf\u00e4higkeit aus.<\/span> Das modulare Design erlaubt die individuelle Konfiguration von Sensoren und Fluidikoptionen entsprechend den spezifischen Anforderungen des Kunden.<\/span> Die Systeme liefern schnelle und hochaufl\u00f6sende Ergebnisse mit Z\u00e4hlraten, die \u00fcber denen anderer Technologien liegen.<\/span> Dies verbessert die statistische Genauigkeit und erm\u00f6glicht die zuverl\u00e4ssige Erkennung von gro\u00dfen Partikelzahlen (LPC), die die Ausbeute verringern k\u00f6nnen.<\/span><\/p>\n

Eine Vielzahl von kundenspezifischen Autoverd\u00fcnnungsmodulen stellt sicher, dass die optimale Konzentration f\u00fcr die Messung an den Sensor geliefert wird.<\/span> Die SPOS-Technik erm\u00f6glicht die pr\u00e4zise Messung einzelner Partikel, was zu Ergebnissen von h\u00f6chster Genauigkeit f\u00fchrt.<\/span> Die Systeme sind bestens geeignet zur kontinuierlichen \u00dcberwachung von LPC in CMP-Schlamm-Zufuhrsystemen und dienen als Werkzeug zur Optimierung der Filtration und anderer Prozessbedingungen.<\/span><\/p>\n

Anwendungsbereiche der Prozess\u00fcberwachung<\/h2>\n

Die Prozess\u00fcberwachung<\/strong> mit dem Partikelmessger\u00e4t AccuSizer Mini findet Anwendung in verschiedenen Bereichen der Halbleiterfertigung und Materialwissenschaft.<\/span> In der \u00dcberwachung von CMP-Schl\u00e4mmen erm\u00f6glichen sie die fr\u00fchzeitige Erkennung von Verunreinigungen und Aggregationen, die zu Defekten f\u00fchren k\u00f6nnen.<\/span> Dies ist entscheidend f\u00fcr die Qualit\u00e4tssicherung und die Optimierung von Fertigungsprozessen.<\/span> Dar\u00fcber hinaus werden die Systeme in der Forschung und Entwicklung eingesetzt, um die Eigenschaften neuer Materialien zu analysieren und Prozesse zu verbessern.<\/span><\/p>\n

Falls Sie weitere Fragen zu den Systemen haben, stellen Sie gerne eine unverbindliche Anfrage. Weitere Informationen \u00fcber die Produkte und alle technischen Datenbl\u00e4tter zu jeder Variante erhalten Sie hier: Entegris.com<\/a>.<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

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